Vakuumovn, det vil sige i det specifikke rum i ovnkammeret, bruges vakuumsystemet (omhyggeligt samlet af vakuumpumpe, vakuummåleanordning, vakuumventil og andre komponenter) til at udlede en del af stofferne i ovnkammeret, således at trykket i ovnkammeret er mindre end et standardatmosfærisk tryk, og rummet i ovnkammeret bruges til at opnå en vakuumtilstand, som er en vakuumovn.