Vakuumovne er vakuumvarmebehandlingsovne, som er opdelt efter anvendelsesudstyret og omfatter følgende typer:
Vakuum quenching ovn, vakuum loddeovn, vakuum annealing ovn, vakuum magnetisering ovn, vakuum tempereringsovn, vakuum sintringsovn, vakuum diffusions svejseovn, vakuum karbureringsovn osv.
Ifølge opvarmningsmetoden er vakuumovnen opdelt i vakuummodstandsovn, vakuuminduktionsovn, vakuum-elektrisk lysbueovn, vakuum-selvforbrugelig lysbueovn, elektronstråleovn (også kendt som elektronisk bombardementovn) og plasmaovn.