Vakuumovn, det vil sige i det specifikke rum i ovnkammeret, bruges vakuumsystemet (omhyggeligt samlet af vakuumpumpe, vakuummåleanordning, vakuumventil og andre komponenter) til at udlede en del af stofferne i ovnkammeret, således at trykket i ovnkammeret er mindre end et standardatmosfærisk tryk, og rummet i ovnkammeret bruges til at opnå en vakuumtilstand, som er en vakuumovn.
En vakuumovn er en enhed, der varmer op i et vakuummiljø. Ovnkammeret føres til højvakuumpumpesystemet i en ovn forseglet med et metal- eller kvartsglasdæksel. Ovnens vakuumgrad kan nå 133×(10-2~10-4)Pa. Varmesystemet i ovnen kan opvarmes direkte ved elektrisk opvarmning af modstandsovnstråd (såsom wolframtråd), eller det kan opvarmes ved højfrekvent induktion. Den maksimale temperatur kan nå omkring 3000 grader. Det bruges hovedsageligt til keramisk brænding, vakuumsmeltning, afgasning og udglødning af elektriske vakuumdele, lodning af metaldele og keramisk metalforsegling.
