1200C PECVD-system med tre varmezoner
1200C PECVD-system med tre varmezoner

1200C PECVD-system med tre varmezoner

SK2-CVD-12TPB4 er en rørovn til PECVD-system, bestående af 300W eller 500W RF-strømforsyning, flerkanals præcisionsflowsystem, vakuumsystem og rørovn. Den almindeligt anvendte temperatur er 1100 grader Celsius eller derunder, og dens vigtigste egenskaber er lav aflejringstemperatur, hurtig hastighed, god filmkvalitet, færre nålehuller og mindre tilbøjelige til at revne. En ideel enhed til at dyrke nanotråde eller forberede forskellige tynde film ved hjælp af CVD-metoden.
Send forespørgsel
Funktion

 

● Maks. temperatur RT-1200 grad

● Split type ovn, du kan åbne ovnen.

● Kan indføre mere end 2 gaskanaler med en vakuumgrad på 10Pa ved hjælp af en mekanisk pumpe og en 500W RF-strømforsyning for at forbedre signalet.

● Højkvalitets ydeevne aluminiumoxid keramiske fiber isoleringsmaterialer

● Temperaturkontrolnøjagtighed ±1 grad

● Med overtemperaturalarmfunktion

● Køleventilator kan reducere temperaturen på huset

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimensioner: Standard varmezonelængde (mm)

440 mm

Dimensioner: Standard rørdiameter (mm)

∮60 mm

Max.temperatur

1200 grader, Kontinuerlig arbejdstemperatur 1100 grader.

Spænding (V)

220 1P

Termoelement type

K

Varmeelement

HRE Alloy modstandstråd

Temp. Præcision

±1 grad

Opvarmningshastighed

Gratis justering på 0-30 grader/min

Kammermateriale

Bruger avanceret højkvalitets aluminiumoxid mikrokrystallinsk fibermateriale

Ovns struktur

Dobbeltlags luftkølet struktur, overfladetemperatur er mindre end 60 grader

Temperaturregulator

Intelligent PID-temperaturkontrolinstrument, 30 programsegmenter, SSR-kontrol, PID-parameter selvindstillingsfunktion; program temperaturstigning, program varmekonservering, program køling

500W RF strømforsyning

Udgangseffekt: 5-500W ±1 grad

RF-frekvens: 13,56 MHz ±0,005 %

Reflekteret effekt: op til 100W

Match: Automatisk

RF-interface: 50Ω, N-type

Køling: luftkøling

Strømforsyning: AC 208-240V, 50/60HZ

4 gaskanals præcisionssystem

1. Fuldskala flowhastighed (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Ventiltype: Magnetventil.

3. Ventilhvileposition: Normalt lukket.

4. Differenstryk: (50-300)kpa

5. Trykmodstand: 3mpa.

6. Driftstemperatur: 5-45 grad

7. Materialer: rustfrit stål 316L.

Vakuum system

5*10-3Pa

KF25 hurtigkobling, rustfri stålbælge, manuel klapventil og flange, vakuumpumpe

Højere vakuumsystemer kan også udstyres som ekstraudstyr.

image001

VELKOMMEN OEM/ODM

 

Standard tilbehør

 

Termohandsker|Digelkrog|Termoelement|Rørblok|Brugervejledning |Værktøjer|Vakuumpumpe| Kvartsrør |Flange |Tætningsring |10mm gasslange |Flangestøtte, Gassystem, RF-strøm.

 

Valgfri

 

Forskellig varmezone efter eget valg;

LCD touch screen kontrol til valg

RS485/USB-port til at tilslutte computer til valg.

 

Detaljebillede til CVD-PECVD

 

image003
500W RF strømforsyning
image005
Vakuum system
image007
4 gaskanals præcisionssystem

 

Ansøgning

 

Denne enhed bruges hovedsageligt til dyrkning af nanotråde eller forberedelse af forskellige tyndfilmvækst ved hjælp af CVD-metoden.

 

Garanti

 

Et års garanti og livslang teknisk support

Særlige tips:

1. Forbrugsstoffer såsom varmeelement, kvartsrør, prøvedigel osv. er ikke inden for garantiperioden.

2. Skader forårsaget af brug af ætsende gas og sur gas er ikke dækket af garantien.

 

Populære tags: 1200c tre varmezone pecvd system, Kina 1200c tre varmezone pecvd system producenter, leverandører